Hermes CO2 Bubbler,能針對超純水高阻抗的靜電效應問題,恆常地將電阻值控制在非常精準的範圍內,即使面對瞬間的高水流量變化,也能快速地自動調節;此外,本機台的高模組化設計,除了維修簡易之外,也無耗材所產生的額外成本(本機台已通過德國萊因TUV SEMI S2安全認證) 。

使用目的

CO2溶於水中產生陰陽離子,利用離子中和靜電H2O + CO2 → HCO3- + H+
* 切割或研磨時,磨擦產生的靜電
* 超純水流經管路磨擦產生的靜電電

適用機台

半導體:切割機、研磨機、Water Jet Cleaning、Scrubber、Mask Cleaning

LCD:黃光區機台(4K/清洗區) Water Jet Cleaning & 酸鹼中和
機台尺寸:75cm*65cm*153cm
機台重量:100kg

型號: EC250E 30 Lpm、EC250S 40 Lpm、EC350E 50 Lpm