Hermes CO2 Bubbler，能针对超纯水高阻抗的静电效应问题，恒常地将电阻值控制在非常精准的范围内，即使面对瞬间的高水流量变化，也能快速地自动调节；此外，本机台的高模组化设计，除了维修简易之外，也无耗材所产生的额外成本(本机台已通过德国莱因TUV SEMI S2安全认证) 。

使用目的

CO2溶于水中产生阴阳离子，利用离子中和静电H2O + CO2 → HCO3- + H+
* 切割或研磨时，磨擦产生的静电
* 超纯水流经管路磨擦产生的静电电

适用机台

半导体：切割机、研磨机、Water Jet Cleaning、Scrubber、Mask Cleaning

LCD：黄光区机台(4K/清洗区) Water Jet Cleaning & 酸碱中和
机台尺寸：70cm*61cm*153cm
机台重量：70kg

型号: EC120C