半導體機能水設備

自動光學檢測設備

超鹼性鉀離子水

自動倉儲管理系統

協作型AMR自走車

代理商品

Laser Grooving 3D Profiling

使用目的

“Velociraptor” 以快速、完美、精準為設計主軸，全自動檢測Laser Grooving後切割痕之3D Profiling，並可以用SEM剖面等級的視覺震撼效果呈現，連recast物理現象的變化也可一覽無遺。並可提供全自動上下料機種。

二光機

使用目的

本設備用於8 吋、12吋晶圓切割道瑕疵檢測，為8”及12“共用Chuck Table之系統設計，Chuck Table平台可作X-Y方向移動以及θ軸旋轉動作，由視覺系統自動對位並對切割道作取像檢查，以Die之防崩帶被侵毀(Die暗裂破壞)或污染為瑕疵判斷基準，經人工對瑕疵之確認及判定後，以Auto-Mapping方式記錄瑕疵位置，稼動率可達90%以上。