Hermes CO2 Bubbler，能針對超純水高阻抗的靜電效應問題，恆常地將電阻值控制在非常精準的範圍內，即使面對瞬間的高水流量變化，也能快速地自動調節；此外，本機台的高模組化設計，除了維修簡易之外，也無耗材所產生的額外成本(本機台已通過德國萊因TUV SEMI S2安全認證) 。

使用目的

CO2溶於水中產生陰陽離子，利用離子中和靜電
H2O + CO2 → HCO3- + H+
* 切割或研磨時，磨擦產生的靜電
* 超純水流經管路磨擦產生的靜電

機能水式設計

* 使用單顆節能”恆常式馬達”
* 省無塵室空間–>阻值監測回饋
* 使用藥液原液–>迴藥液系統設計
* 自動設定藥液量–>精密調控藥液濃度，隨水流量變化供給
* 不挑且較省藥液–>濃度設定範圍廣 (1/1000~1/4000)

適用機台

半導體：切割機、研磨機、Water Jet Cleaning、Scrubber、Mask Cleaning

LCD：黃光區機台(4K/清洗區) Water Jet Cleaning & 酸鹼中和
機台尺寸：75cm*65cm*153cm
機台重量：100kg

型號: EC250E 30 Lpm、EC250S 40 Lpm、EC350E 50 Lpm